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產(chǎn)品詳情

  • 產(chǎn)品名稱：ULVAC愛發(fā)科陶瓷隔膜真空計(jì)

  • 產(chǎn)品型號(hào)：CCMT-100D
  • 產(chǎn)品廠商：ULVAC愛發(fā)科
  • 產(chǎn)品文檔：
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簡單介紹：
CCMT-D系列、陶瓷隔膜根據(jù)氣體的壓力變化發(fā)生變形、電容式真空計(jì)根據(jù)靜電容量的變化檢測壓力。
詳情介紹：
CCMT-D系列、陶瓷隔膜根據(jù)氣體的壓力變化發(fā)生變形、電容式真空計(jì)根據(jù)靜電容量的變化檢測壓力。
傳感器部由陶瓷一體構(gòu)造，具備優(yōu)良的再現(xiàn)性、穩(wěn)定性，在低·中真空領(lǐng)域不受氣體的種類影響(可以測量**壓力)，能夠高精度地測量。CCMT-D系列、陶瓷隔膜根據(jù)氣體的壓力變化發(fā)生變形、電容式真空計(jì)根據(jù)靜電容量的變化檢測壓力。
傳感器部由陶瓷一體構(gòu)造，具備優(yōu)良的再現(xiàn)性、穩(wěn)定性，在低·中真空領(lǐng)域不受氣體的種類影響(可以測量**壓力)，能夠高精度地測量。

特點(diǎn)

  • 長期穩(wěn)定
  • 使用陶瓷膜，具有優(yōu)異的耐腐蝕性
  • 內(nèi)置式溫度補(bǔ)償回路
  • 采用新結(jié)構(gòu)保護(hù)傳感器免受污垢
  • 可以通過按鈕進(jìn)行零點(diǎn)調(diào)整

用途

  • 用于成膜設(shè)備工藝中的壓力監(jiān)控
  • 用于真空溶解、真空熱處理爐等真空排氣系統(tǒng)的壓力監(jiān)控
  • 用于太陽能電池等各種制造設(shè)備的壓力監(jiān)控

規(guī)格

型 CCMT-D型
量程滿量程 CCMT-1000D型 133kPa （1×103托爾，1.33×103mbar） F.S.
CCMT-100D型 13.3kPa （1×102托爾，1.33×102mbar） F.S.
CCMT-10D型 1.33kPa （10 Torr， 13.3 mbar） F.S.
CCMT-1D型 133Pa （1 Torr， 1.33 mbar） F.S.
分辨率 滿量程的0.003%
精度 *1 ±0.2%±相對于顯示值的溫度系數(shù)（該值表示精度零點(diǎn)調(diào)整）
溫度系數(shù) 零電壓 0.015% F.S. / °C
跨度電壓 0.01% R/°C
工作溫度范圍 10 至 50°C（50 至 122 °F）
回復(fù)率 30ms以下
氣體接觸段材料 Al2O3、Vacon70 *2、SUS316 *3、微晶玻璃焊料、Ag Ti Cu硬焊料
輸入功率 DC14~30V，1W
輸出 DC 0 至 10V F.S.
重量 329克
尺寸 55毫米×117毫米
溫度補(bǔ)償 內(nèi)部溫度補(bǔ)償電路
電連接器 D-sub 15 針公頭（4-40 號(hào)，DNC 螺絲）

*1 ： 非線性、滯后、在25°C（77°F）環(huán)境工作溫度下無彈力效應(yīng)，運(yùn)行2小時(shí)后，零標(biāo)準(zhǔn)調(diào)整
后無張力效應(yīng)*2 ： 28% Ni， 23% Co， 49% Fe
*3 ： 18% Cr， 10% Ni， 3% Mo， 69% Fe

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