特點(diǎn)

• 可以在反應(yīng)過程中長時間進(jìn)行穩(wěn)定的測量
• 采用具有磁場的Claude離子源
• 軟電離可防止在高靈敏度電離室因熱反應(yīng)而產(chǎn)生的分解和吸附，同時氣體離解較少
• 緊湊型流量控制閥
• 處理室到離子源的距離很短，可以快速響應(yīng)分辨率
• 可以測量寬范圍的壓力10^-6 to 13kPa（口徑可選）
• 無需電腦也可以測量
• One Click機(jī)能（對每個人來說都很容易，不需要復(fù)雜的操作）
• 連接傳感器單元時，*大可以進(jìn)行120℃的高溫烘烤
• 離子源，二次電子倍增管的預(yù)防性維護(hù)分析管加載了可追溯性（**申請中）
• 可進(jìn)行氦氣檢漏，漏氣測試
• 標(biāo)準(zhǔn)搭載軟件（Windows 8/10/11）

• 用途

  • CVD/ALD/蝕刻設(shè)備
  • 監(jiān)測工藝中的反應(yīng)氣體
  • 蝕刻和清潔工藝的末端監(jiān)測
  • 殘留氣體測量
  • 檢漏

  規(guī)格

  型號	RGM2-202	RGM2-302
  傳感器
  質(zhì)量分離方式	四極型質(zhì)量分析儀
  質(zhì)量數(shù)范圍	1～200 amu	1～300 amu
  分解能	M/△M=1M (10%P.H.)
  檢出器	SEM/法拉第杯
  感度	1×10-3 A/Pa
  *小檢知分圧	1×10-10 Pa
  離子源	帶磁鐵的閉合離子源
  燈絲	V字型 Ir/Y2O3 1個
  電力電壓	20～70 eV
  放射電流	10μA
  放大器范圍	1×10-5～1×10-12 A
  可烘烤溫度	120℃
  差動排氣系統(tǒng)
  氣體導(dǎo)入閥	帶孔流量控制閥
  *大采樣壓力	13kPa
  差動排氣系統(tǒng)	帶中間排氣，吹掃的渦輪分子泵。
  渦輪分子泵	67L/s：N2
  前級泵	DIS090
  皮拉尼真空計(jì)	SW1-1
  電離真空計(jì)	GI-M2
  質(zhì)量	排氣系：57kg／控制系：38kg
  效用
  電源電壓	AC100V 15A
  壓縮空氣	Dry N2：0.4～0.7MPa (Φ6一觸式配件)
  控制器單元
  One Click功能	有 / He / H2O / N2 / O2 / Any gas
  PC交互	RS-232C / 485
  外部入輸出	類似物輸入2點(diǎn)（0-10V）
  	設(shè)定點(diǎn)輸出2點(diǎn)（異常、警告）
  	外部聯(lián)鎖（壓力保護(hù)）
  其他
  烘烤加熱器	帶式加熱器
  高度調(diào)整架	標(biāo)準(zhǔn)
  傳感器部一控制部鏈接電線	約5m
  接口	Ethernet
  軟件	Qulee QCS Ver.4.2以降（Windows 8/10/11）適用
  選項(xiàng)	PC