■ 通過(guò)連接簧 片開關(guān)作為選項(xiàng)，可以檢測(cè)打開和關(guān)閉位置

■ 各種真空管路

型	3W-25型
公稱通徑	25
電導(dǎo) [C-R] （L/s）	13
電導(dǎo) [C-F] （L/s）	7
閥體和密封件的泄漏率（Pa?m3/s）	1.3×10-10以下
閥座表面壓差（MPa）	0.1
A：本體 B：密封件/材料	A： SUS 304 B： 氟橡膠
生命周期	100,000次（室溫下）
重量 （kg）	2.5

型	3W-40型
公稱通徑	40
電導(dǎo) [C-R] （L/s）	40
電導(dǎo) [C-F] （L/s）	23
閥體和密封件的泄漏率（Pa?m3/s）	1.3×10-10以下
閥座表面壓差（MPa）	0.1
A：本體 B：密封件/材料	A： SUS 304 B： 氟橡膠
生命周期	100,000次（室溫下）
重量 （kg）	4.8