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產(chǎn)品詳情

  • 產(chǎn)品名稱：THERMOCERA日本VH加熱器

  • 產(chǎn)品型號：VH-3-1000-GS-O2
  • 產(chǎn)品廠商：THERMOCERA日本K.K
  • 產(chǎn)品文檔：
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簡單介紹：
超高溫、超高真空、高規(guī)格的“多功能”基板加熱平臺，具有三種加熱器材料可供選擇，適用于廣泛的應用。
詳情介紹：

VH（多功能加熱器）通過對外殼、屏蔽層、電極部件、加專線等進行標準化，與傳統(tǒng)方法相比，縮短了從生產(chǎn)到交付的時間。 加熱器系列采用 SiC3 涂層、TiC 涂層和 PG/PBN 加熱器，支持廣泛的應用。

* 根據(jù)使用條件，可能會推薦帶有水冷機構(gòu)的類型。

用

 

  • 真空薄膜形成（CVD、濺射、ALD、PLD、MBE 等）
  • 薄膜應力和熱分析
  • 晶圓退火加熱階段
  • 其他

加熱元件、*高溫度（板溫）、使用環(huán)境

型號配置

型號

? SiC3涂層石墨絲 Max1000°C

? TiC3涂層石墨絲 Max1600°C
? PG/PBN線 Max1200°C

選擇

其他選項
?水冷夾套（1200°C以上）
?真空引入的底座法蘭
?AlN、PBN、藍寶石板
?旋轉(zhuǎn)機構(gòu)
?垂直升降
?板偏置
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