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產(chǎn)品詳情

  • 產(chǎn)品名稱：THERMOCERA日本HT加熱器

  • 產(chǎn)品型號：HTWM6-○○-01.5
  • 產(chǎn)品廠商：THERMOCERA日本K.K
  • 產(chǎn)品文檔：
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簡單介紹：
帶有 SiC3 和 TiC3 加熱器的超高溫定制加熱器。 高規(guī)格基板加熱階段，可承受需要高純度、耐熱性和耐腐蝕性的惡劣工藝環(huán)境。
詳情介紹：

HT系列采用碳化硅（SiC3）和碳化鈦（TiC3）涂層線材，滿足對高純度、耐腐蝕性和耐熱性的苛刻工藝環(huán)境的要求。 規(guī)格條件請告知我們，我們將根據(jù)客戶的要求每次定制。

*由于是針對超高溫的，我們推薦水冷式規(guī)格。

用

  • 真空薄膜形成（CVD、濺射、ALD、PLD、MBE 等）
  • 薄膜應(yīng)力和熱分析
  • 晶圓退火加熱階段
  • 其他

加熱元件、*高溫度（板溫）、使用環(huán)境

型號配置

原理圖規(guī)格

外形圖和參考照片

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