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產(chǎn)品詳情

  • 產(chǎn)品名稱：THERMOCERA日本臺式超高溫實(shí)驗(yàn)爐

  • 產(chǎn)品型號：Mini-BENCH-Φ3
  • 產(chǎn)品廠商：THERMOCERA日本K.K
  • 產(chǎn)品文檔：
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簡單介紹：
超緊湊臺式超高溫實(shí)驗(yàn)爐， 適用于各種研發(fā)應(yīng)用[Mini-BENCH]系列
詳情介紹：
我們根據(jù)您的預(yù)算和目的，從*低配置（加熱器/腔室+控制箱）中提出*合適的碳爐系統(tǒng)（真空、惰性氣體、還原氣氛）。

Φ80mm內(nèi)徑坩堝感應(yīng)樣品，Φ1~4英寸晶圓燒制 體積小，操作簡單 溫度快速升至2000°C！
可廣泛應(yīng)用于SiC和GaN器件的基礎(chǔ)研究、新材料及材料的開發(fā)、其他先進(jìn)的基礎(chǔ)研究、產(chǎn)品開發(fā)等部門。

特征

 

  • 桌面尺寸小，可以安裝在實(shí)驗(yàn)室的有限空間內(nèi)。
  • 我們將根據(jù)所需的燒制條件響應(yīng)定制設(shè)計(jì)。
  • 我們將提出適合您預(yù)算的設(shè)備配置。

 

【設(shè)備配置】

 

（a） 腔室 + 控制箱
（b） 腔室 + 控制箱 + 真空排氣系統(tǒng)（泵、儀表、閥門、真空管道）

 

*訂購時請按照以下說明進(jìn)行操作。

?要求的設(shè)備配置（A或B以上）、
爐膛加熱范圍、尺寸
、樣品材料、形狀
、燒成溫度條件
、爐膛氣氛（真空燒成、氣體類型）

原理圖規(guī)格

加熱器

 

  • 平面加專線（晶圓用）：C/C復(fù)合材料（或鎢）
  • 圓柱形加熱絲（坩堝用）：C/C復(fù)合材料（或鎢）

* 根據(jù)加熱范圍的尺寸，平面加熱器和圓柱形加熱器可以組合使用，以實(shí)現(xiàn)整個坩堝的均勻加熱。

Mini-BENCH控制箱

 
可編程溫度控制器、直流電源（或外部變壓器）、工作端、電流表和腔室開關(guān)設(shè)備*裝在一個緊湊的盒子里。 它包含Mini-BENCH基本操作所需的一切。
 

*** Φ3 和 4 英寸尺寸的腔室。

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