TE系列超高溫臺(tái)式多氣氛實(shí)驗(yàn)反應(yīng)器“熱邊緣”

 
電爐從吸塵、吹掃到排氣的操作均為PLC半自動(dòng)式。 無(wú)需手動(dòng)打開和關(guān)閉閥門等復(fù)雜操作，可以通過(guò)觸摸屏進(jìn)行集中管理。
臺(tái)式緊湊的尺寸，可以有效利用實(shí)驗(yàn)室的有限空間。

特征

三種類型的爐加熱器/保溫材料擴(kuò)大了碳爐的應(yīng)用范圍。

• C/C復(fù)合加熱器
• SiC3（碳化硅）涂層加熱器
• TiC3（碳化鈦）涂層加熱器

將多種功能集成到緊湊的機(jī)身中

• 節(jié)省空間：889 （W） x 503 （D） x 629 （H） mm
• 圓柱形加熱器（用于坩堝）和平面加熱器（用于晶圓燒制）
• 聯(lián)鎖（冷卻水、腔室表面溫度、加熱器過(guò)熱、真空、腔室開閉）
• PLC半自動(dòng)操作：（吸塵/吹掃×3次循環(huán)排氣）
• 觀察視口（可選）

原理圖規(guī)格

電爐控制單元

● 溫度控制器：Eurotherm 'nanodaq' 或 RKC PF900
● 數(shù)字真空計(jì)：MKS micro Pirani 真空計(jì)
● 觸摸屏：西門子 SIMATEC HMI（或三菱）

定制規(guī)格和選項(xiàng)

 

• 前視口
• 額外的進(jìn)氣口
• MFC等氣體控制設(shè)備
• APC自動(dòng)壓力控制
• 觀察視口
• 用于樣品測(cè)量，熱電偶
• 此外，我們還將制造定制規(guī)格。 請(qǐng)聯(lián)系我們。