可以進(jìn)行準(zhǔn)確且高精度的污染物元素分析。全球首款也是**一款內(nèi)置 VPD 的 TXRF-V310 實(shí)現(xiàn)了過(guò)渡金屬 106 個(gè)原子/cm2 水平的檢測(cè)極限。配備了多種功能，例如用于晶圓表面內(nèi)高速污染映射測(cè)量的“Sweeping-TXRF功能”、可實(shí)現(xiàn)晶圓邊緣附近測(cè)量的“ZEE-TXRF功能”以及新開發(fā)的「斜角恢復(fù)VPD功能」，非常適合半導(dǎo)體量產(chǎn)工藝，為工藝開發(fā)中的污染控制提供強(qiáng)有力的支持。

產(chǎn)品名稱	TXRF-V310
方法	全內(nèi)反射熒光X射線（TXRF）/氣相分解（VPD）
目的	微量元素表面污染的測(cè)量
技術(shù)	自動(dòng) VPD 準(zhǔn)備、3 光束激發(fā)和自動(dòng)光學(xué)對(duì)準(zhǔn)
主要成分	自動(dòng)VPD、旋轉(zhuǎn)陽(yáng)極陰極X射線源、XYθ樣品臺(tái)、無(wú)液氮檢測(cè)器
選項(xiàng)	用于全工廠自動(dòng)化的 GEM-300 自動(dòng)化軟件
外部（電腦）	內(nèi)部 PC、MS Windows® 操作系統(tǒng)
機(jī)身尺寸	1200（寬）×2050（高）×2990（深）毫米
重量	1650公斤（身體）
電源	三相 200 VAC 50/60 Hz，125 A