兼容微量元素濃度和成分分析

兼容從輕元素到重元素的多種元素：  4 Be 到92 U

高靈敏度硼檢測(cè)儀AD-Boron 

我們不斷開(kāi)發(fā)新的光學(xué)系統(tǒng)，例如改進(jìn)硼分析功能，以提高分析精度和穩(wěn)定性。此外，恒溫機(jī)構(gòu)和真空度穩(wěn)定機(jī)構(gòu)是用于穩(wěn)定的標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備。

XY-θ驅(qū)動(dòng)臺(tái)

XY-θ 驅(qū)動(dòng)的樣品臺(tái)和測(cè)量方向設(shè)置程序可實(shí)現(xiàn)整個(gè)晶圓表面上的**薄膜厚度和成分分布測(cè)量。鐵電薄膜也不受衍射線的影響。

應(yīng)用

半導(dǎo)體器件 BPSG、SiO 2、Si 3 N4、摻雜多晶硅（B、P、N、As）、Wsix、Al-Cu、TiW、TiN、TaN、PZT、BST、SBT、MRAM ……
金屬膜 W、 Mo、Ti、Co、Ni、Al、Cu、Ir、Pt、Ru、...
磁盤(pán) CoCrTa、CoCrPt、...DLC、...NiP、...
磁光盤(pán) Tb-FeCo、?
磁性磁頭 GMR、TMR、??

豐富的固定測(cè)角儀陣容

我們根據(jù)膜厚度和膜結(jié)構(gòu)提供*佳的固定測(cè)角儀。我們還有一個(gè)專(zhuān)用的光學(xué)系統(tǒng)，可以分析硅晶圓上的 Wsix 薄膜。

全自動(dòng)設(shè)備日常管理功能AutoCal

為了獲得準(zhǔn)確的分析值，必須正確校準(zhǔn)儀器。為此，必須定期測(cè)量檢查晶圓和PHA調(diào)整晶圓作為管理晶圓，以保持設(shè)備處于良好狀態(tài)。這種日常校準(zhǔn)工作是完全自動(dòng)化的，減少了操作員的工作量。這就是“AutoCal 功能”。

兼容C to C自動(dòng)傳輸

除了開(kāi)放式盒式磁帶外，它還兼容 SMIF POD。兼容200mm以下的晶圓。另外，可與上位機(jī)進(jìn)行SECS通信，并兼容各種CIM/FA。

緊湊節(jié)能設(shè)計(jì)主機(jī)設(shè)計(jì)緊湊，占地面積小于1平方米。采用無(wú)油變壓器，輔助設(shè)備緊湊，節(jié)能設(shè)計(jì)。

產(chǎn)品名稱(chēng)	WDA-3650
方法	同時(shí)波長(zhǎng)色散 X 射線熒光 (WD-XRF)
目的	適用于*大 200 毫米晶圓的多層堆疊的厚度和成分
技術(shù)	4 kW X 射線發(fā)生器，帶 XYθ 樣品臺(tái)、Rh 陽(yáng)極 WDXRF
主要成分	*多20個(gè)通道，固定型(?Be~?υU)，掃描型(22Ti~?у)
選項(xiàng)	高靈敏度AD-硼通道，具有C-to-C自動(dòng)加載器的自動(dòng)校準(zhǔn)功能
控制（電腦）	內(nèi)部 PC、MS Windows® 操作系統(tǒng)
機(jī)身尺寸	1120（寬）x 1450（高）x 890（深）毫米
大量的	600公斤（本體）
電源	三相 200 VAC 50/60 Hz，30 A 或單相 220-230 VAC 50/60 Hz 40 A