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產(chǎn)品詳情

  • 產(chǎn)品名稱：ADVANCE RIKO先進(jìn)理工 紅外線燈加熱裝置

  • 產(chǎn)品型號：RTP-6
  • 產(chǎn)品廠商：ADVANCE RIKO先進(jìn)理工
  • 產(chǎn)品文檔：
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簡單介紹：
可以低成本實(shí)現(xiàn)80℃/s的高速退火。 該設(shè)備為紅外燈設(shè)備，采用拋物面反射紅外燈對4-6英寸晶圓進(jìn)行均勻加熱。它能夠進(jìn)行高速熱處理，可以方便地用作熱處理工藝研究和開發(fā)的裝置。我們可以在單個(gè)半導(dǎo)體工藝中進(jìn)行硅化物形成和氧化膜形成，以及化合物半導(dǎo)體的工藝退火。
詳情介紹：
  • 可進(jìn)行高速熱處理
  • 水冷金屬室式冷壁結(jié)構(gòu)，可實(shí)現(xiàn)高速冷卻。
  • 真空置換后氣體流動也是可能的
  • 您可以輕松設(shè)置溫度程序并從計(jì)算機(jī)輸入外部信號。
  • 加熱過程中的溫度數(shù)據(jù)可在電腦上顯示
  • 腔室內(nèi)可安裝石英防污板，防止污染（可選）
  • 9 區(qū)輸出控制可實(shí)現(xiàn)出色的溫度分布和重復(fù)性
溫度范圍 室溫～1100℃
樣本量 標(biāo)準(zhǔn)1個(gè)φ6英寸晶圓（可選φ4英寸或φ5英寸）
氣氛 氣體中、氣流中、大氣中、真空中（可選配真空排氣裝置）
加熱方式 采用拋物面反射紅外燈的上部單面加熱方式（也可采用下部加熱方式）
*大升溫速率 80℃/秒
浸泡精度 ⊿t＝10℃ at 800℃內(nèi)部保持N 2
控制傳感器 標(biāo)準(zhǔn)熱電偶 JIS“K”（插入 SiC 涂層碳基座）、高溫計(jì)（可選）
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