現(xiàn)在可以在相同真空下涂覆兩次的“4端子型號”（CADE-4T）

無間隙涂層可防止充電，并且來自兩個氣相沉積源的薄膜沉積改善了碳顆粒的周長。
薄膜和厚膜控制可防止W庫損壞，也是FIB保護(hù)膜的理想選擇。
可以在同一個真空中形成彼此重疊的薄膜，從而更容易形成厚薄膜。

相同真空+親水處理功能下的碳沉積（CADE-E）

CADE-E具有等離子體處理功能。 由于等離子體處理和碳?xì)庀喑练e可以在同一真空中進(jìn)行，因此涂層后的親水處理可以在連續(xù)過程中進(jìn)行。
樣品表面可在碳包覆前通過等離子放電進(jìn)行清洗，碳包覆后可對碳支撐膜進(jìn)行親水處理。 由于樣品可以在相同的真空下進(jìn)行處理，而無需裝載或卸載，因此可以在不與大氣接觸的情況下進(jìn)行涂層，并且可以進(jìn)行無污染的分析。

使用超純（99.995%）碳纖維進(jìn)行無雜質(zhì)分析

碳纖維是一種由石墨纖維制成的定制產(chǎn)品，經(jīng)過2000°C的高溫處理，已*大限度地消除雜質(zhì)。 纖維是超細(xì)、柔軟的編織纖維，待沉積的碳顆粒涂有細(xì)粒徑。
此外，CADE還實現(xiàn)了預(yù)熱功能，允許在沉積前進(jìn)行10秒的低溫加熱，以完全消散纖維中殘留的痕量雜質(zhì)，從而產(chǎn)生更純凈的沉積源。
此外，由于纖維只使用一次，因此沒有雜質(zhì)殘留。 它是各種分析的理想選擇，例如 SEM 觀察、EDS 分析和 FIB 保護(hù)膜。

與機(jī)械筆碳涂布機(jī)的比較

機(jī)械筆的筆芯含有油和其他材料的混合物，便于書寫。
在進(jìn)行元素分析時，如果混合了另一種元素，則無法確定它是否是從Mr./Ms.衍生的元素，并且很難進(jìn)行定量分析。
CADE的碳纖維由高純度纖維制成，預(yù)熱可去除雜質(zhì)并提高純度，從而沉積*佳薄膜以供分析。

低電流、短時間涂層，無熱損傷

由于CADE的氣相沉積源是纖維狀的，因此電流容易流動，并且可以涂覆低電流（約35A）和短時間（1.7秒）。 在碳纖維棒類型中偶爾會看到由火花引起的熱損傷，但 CADE 在碳纖維燒毀之前通過計時器控制來防止它。

碳棒類型的問題

× 設(shè)置難以設(shè)置且容易
折斷的桿時要小心，因為如果擰緊松動，零件的阻力會很強，會儲存熱量，如果擰得太緊，芯子會斷裂。 此外，在設(shè)置時需要時間和精力來磨練它。

× 由于涂層過程中產(chǎn)生火花而拉扯的熱損傷
棒不易傳遞熱量，必須承受大電流，從而導(dǎo)致樣品的熱損傷。

× 涂覆后，氧化雜質(zhì)殘留在剩余的碳棒上一旦凝固，可多次使用，但每次更換拉/拉搓時，氧化物殘留在剩余的碳棒上，
導(dǎo)致含有雜質(zhì)的薄膜不均勻且不可重復(fù)。

整個過程只需5分鐘即可完成

氣相沉積源的碳纖維的附著就像在電極之間夾住它一樣簡單。 柔軟的纖維使其易于操作，只需輕輕一按即可安裝。
此外，還使用了 136 l/min 的大型真空泵，可以在很短的時間內(nèi)進(jìn)行加工。

高度可重復(fù)的一次性涂層

可重復(fù)的膜厚可以通過真空和樣品臺距離輕松控制。 此外，CADE具有1.7秒的恒定涂層時間，因此通過預(yù)先確定真空度和載物臺距離，具有高度的可重復(fù)性，無論誰進(jìn)行加工，都可以達(dá)到相同的膜厚。
* 由我們的 FS-1 橢圓儀測量的結(jié)果

用于測量的多光譜橢圓儀

• 四色LED光源和用于橢偏光譜分析的**新MWE技術(shù)
• 埃納米薄膜的薄膜測量
• 安裝在MBE、MOCVD、CVD、ALD、濺射等上，對氣相沉積薄膜進(jìn)行原位高速測量和評估