GF40系列彈性體密封熱式質(zhì)量流量控制器/流量計(jì)

長處

• 可配置的多氣體/多量程功能
• Brooks® MultiFlo? 氣體數(shù)據(jù)庫基于數(shù)以千計(jì)的真實(shí)世界氣體測試，以建立一種補(bǔ)償功能
• 響應(yīng)時間和 1% 的設(shè)定點(diǎn)精度，即使在繁重的應(yīng)用中也是如此
• 與多種氣體兼容
• 具有快速響應(yīng)的哈氏合金傳感器
• 獨(dú)立于工具的通信系統(tǒng)，并配備易于訪問的診斷服務(wù)端口
• 多協(xié)議通信選項(xiàng)，如 DeviceNet?、EtherCAT、® Profibus® 和 RS-485 模擬接口

優(yōu)點(diǎn)

• 質(zhì)量流量控制器 （MFC） 未從氣體管路中移除，并且包括用于滿量程范圍的新型氣體校準(zhǔn)和 MultiFlo? 技術(shù)，以*大限度地延長過程生產(chǎn)的正常運(yùn)行時間
• 簡單明了的 MultiFlo? 編程：可在 60 秒內(nèi)選擇切換不同氣體
• 減少了原始設(shè)備制造商和大型*終用戶擁有的具有固定氣體類型和流量范圍的控制器的庫存
• 基于全球標(biāo)準(zhǔn)的高性能測量系統(tǒng)和校準(zhǔn)，可實(shí)現(xiàn)**的工藝氣體精度
• 耐腐蝕傳感器可使傳感器保持長期穩(wěn)定性，以確保*大的產(chǎn)量和吞吐量
• 用戶可訪問的服務(wù)端口簡化了故障排除和診斷
• 彈性體密封件以合理的成本在各種應(yīng)用中實(shí)現(xiàn)靈活的性能
• 多個協(xié)議通信接口支持集成到現(xiàn)有系統(tǒng)中

用途

• 太陽能電池CVD（化學(xué)氣相沉積）系統(tǒng)
• 生命科學(xué)生物反應(yīng)器
• 真空工藝
• 納米技術(shù)/MEMS制造
• 等離子、玻璃和卷筒紙涂層系統(tǒng)
• 分集管/氣體分配系統(tǒng)的選擇