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產(chǎn)品詳情

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產(chǎn)品名稱：BROOKS 布魯克斯質(zhì)量流量控制器
產(chǎn)品型號：GF126
產(chǎn)品廠商：BROOKS 布魯克斯
產(chǎn)品文檔：

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簡單介紹：

速度增強的 EtherCAT?

詳情介紹：

*快、***的質(zhì)量流量控制器

半導(dǎo)體工藝的*佳性能

具有嵌入式實時診斷功能的 EtherCAT® 數(shù)據(jù)采集
超穩(wěn)定的流量傳感器（每年≤設(shè)定值的 0.15%）可提高低設(shè)定值的精度并減少維護要求
改進了閥門關(guān)閉（料倉范圍的 ≤0.15%）并減少了閥門泄漏，從而減少了**晶圓效應(yīng)
新增強的壓力波動容限（PTI）可降低串?dāng)_靈敏度，并確保一致的質(zhì)量流量輸送

特征

長期零點穩(wěn)定性，±小于0.15%F.S./年
響應(yīng)時間：300 ms 至 1 秒以內(nèi)
滿量程流量高達 300 slpm
所有氣體接觸部件均為金屬：*高 0.125 μm 或 0.25 μm Ra 表面光潔度可選
高度耐腐蝕的哈氏合金 T-Rise 傳感器可提高高溫下的溫度可重復(fù)性
MultiFloTM 氣體，范圍可變性：可以在一個設(shè)備中配置數(shù)千種不同的氣體和流速，而無需從氣體管路中移除 MFC，也不會影響精度
易于使用的用戶顯示屏和獨立的診斷/服務(wù)端口有助于設(shè)備安裝、監(jiān)控和故障排除
GF120 **輸送系統(tǒng) （SDS®）是 Brooks 技術(shù)*高的低壓降質(zhì)量流量控制器，用于植入和蝕刻工藝中使用的亞大氣壓 SDS 氣體輸送。

優(yōu)勢

非常好的性能
- 由于反應(yīng)時間短，提高了應(yīng)用效率
靈活的連接配置
- 幾乎無限的網(wǎng)絡(luò)連接
簡單而堅固
- 配置、診斷和維護
可負擔(dān)性
- 標(biāo)準(zhǔn)以太網(wǎng)端口

用途

半導(dǎo)體蝕刻設(shè)備
CVD、MOCVD、PECVD、ALD設(shè)備
PVD設(shè)備
外延制程設(shè)備

規(guī)格

	GF100	GF101	GF120	GF120	GF120XSD	GF120XSL	GF121	GF125	GF126
差異化優(yōu)勢	高純度	高純度高流速	超高純度超快響應(yīng)時間	*高流量范圍久經(jīng)考驗的可靠技術(shù)	SDS氣體輸送	SDS氣體輸送	超高純度高流速	超高純度超快響應(yīng) 壓力瞬態(tài)不敏感	高流速
流量范圍（滿量程容量）	3 SCCM - 55 SLM	55 SLM - 300 SLM	3 SCCM - 55 SLM	3 SCCM - 55 SLM	>25 SCCM - 1 SLM	4 - 25 SCCM	55 SLM - 300 SLM	3 SCCM - 55 SLM	55 SLM - 300 SLM
表面光潔度	10μ 英寸 Ra	10μ 英寸 Ra	5μ 英寸 Ra	4μ 英寸 Ra	5μ 英寸 Ra	5μ 英寸 Ra	5μ 英寸 Ra	5μ 英寸 Ra	5μ 英寸 Ra
精度	±1% 標(biāo)準(zhǔn)> 20-100% ±0.20% F.S. 2-20%	±1% 標(biāo)準(zhǔn)價 > 35-100% ±0.35% F.S. 2-35%	±1% 標(biāo)準(zhǔn)> 20-100% ±0.20% F.S. 2-20%	±1% 標(biāo)準(zhǔn)價 > 35-100% ±0.35% F.S. 2-35%	±1% 標(biāo)準(zhǔn)價 > 35-100% ±0.35% F.S. 2-35%	±1% 標(biāo)準(zhǔn)價 > 35-100% ±0.35% F.S. 2-35%	±1% 標(biāo)準(zhǔn)價 > 35-100% ±0.35% F.S. 2-35%	±1% 標(biāo)準(zhǔn)> 20-100% ±0.20% F.S. 2-20%	±1% 標(biāo)準(zhǔn)價 > 35-100% ±0.35% F.S. 2-35%
再現(xiàn)性	< ±0.15% 標(biāo)準(zhǔn)股	< ±0.15% 標(biāo)準(zhǔn)股	< ±0.15% 標(biāo)準(zhǔn)股	< ±0.15% 標(biāo)準(zhǔn)股	< ±0.15% 標(biāo)準(zhǔn)股	< ±0.15% 標(biāo)準(zhǔn)股	< ±0.15% 標(biāo)準(zhǔn)股	< ±0.15% 標(biāo)準(zhǔn)股	< ±0.15% 標(biāo)準(zhǔn)股
響應(yīng)時間	常閉 <1 秒	常閉 <1 秒	常閉 700 毫秒	常閉 700 毫秒	常閉 <3 秒	常閉 <3 秒	常閉 <1 秒	常閉 300 毫秒 - <700 毫秒	常閉 <1 秒
響應(yīng)時間 - 否	常開 <1.5 秒	常開 —	常開 <1.5 秒	常開 <1.5 秒	常開 —	常開 —	常開 —	常開 <1.5 秒	常開 —
多氣體多量程	MultiFlo? 標(biāo)準(zhǔn)版	MultiFlo? 標(biāo)準(zhǔn)版	MultiFlo? 標(biāo)準(zhǔn)版	MultiFlo? 標(biāo)準(zhǔn)版	—	—	MultiFlo? 標(biāo)準(zhǔn)版	MultiFlo? 標(biāo)準(zhǔn)版	MultiFlo? 標(biāo)準(zhǔn)版
供氣壓力波動容限/背壓波動容限（穩(wěn)定）	—	—	—	—	—	—	—	±5% S.P. 高達 5 psi/sec 上游壓力機。穗	能夠測量入口壓力
診斷能力	狀態(tài)指示燈和警報	狀態(tài)指示燈和警報	狀態(tài)指示燈和警報	狀態(tài)指示燈：MFC 運行狀況和網(wǎng)絡(luò)狀態(tài) 警報：控制閥輸出和網(wǎng)絡(luò)中斷	狀態(tài)指示燈和警報	狀態(tài)指示燈和警報	狀態(tài)指示燈和警報	狀態(tài)指示燈和警報	狀態(tài)指示燈和警報
數(shù)字通信	EtherCAT以太網(wǎng)CAT	EtherCAT以太網(wǎng)CAT	EtherCAT以太網(wǎng)CAT	RS485 L協(xié)議設(shè)備網(wǎng)絡(luò)?	EtherCAT以太網(wǎng)CAT	EtherCAT以太網(wǎng)CAT	EtherCAT以太網(wǎng)CAT	EtherCAT以太網(wǎng)CAT	EtherCAT以太網(wǎng)CAT

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