應(yīng)答時間200msec的超高速質(zhì)量流量控制器(MFC)。
通過使用熱傳感器,實(shí)現(xiàn)100msec(typical)高速流量控制。使用LINTEC**的非接觸式熱流量傳感器和壓電控制閥,可實(shí)現(xiàn)腐蝕性氣體的超高速流量控制。
流量精度可達(dá)到±1.0%S.P.,數(shù)字通信方式可選擇DeviceNet或EtherCAT。
應(yīng)答時間200msec的超高速質(zhì)量流量控制器(MFC)。
通過使用熱傳感器,實(shí)現(xiàn)100msec(typical)高速流量控制。使用LINTEC**的非接觸式熱流量傳感器和壓電控制閥,可實(shí)現(xiàn)腐蝕性氣體的超高速流量控制。
流量精度可達(dá)到±1.0%S.P.,數(shù)字通信方式可選擇DeviceNet或EtherCAT。
在半導(dǎo)體制造工藝中,在微細(xì)化的同時還需要提高產(chǎn)量。對于控制反應(yīng)氣體流量的質(zhì)量流量控制器來說,縮短流量控制開始(啟動)時間的需求日益增加。超高速質(zhì)量流量控制器【MC-7000】因?yàn)槭褂昧朔墙佑|式熱式流量傳感器,流量傳感器與流量測量氣體不接觸,可實(shí)現(xiàn)200msec的超高速響應(yīng)。同時,因?yàn)榉墙佑|式的特點(diǎn),該流量控制器可用于測量腐蝕性氣體。
溫度 | *小壓差 | *大壓差 | 精度 | 控制范圍 | *小F.S. | *大F.S. | 密封材 |
5~50℃ | 50kPa | 300kPa | ±1%S.P. | 2~100%F.S. | 5SCCM | 20SLM | Au |