應(yīng)答時間200msec的超高速質(zhì)量流量控制器(MFC)。

通過使用熱傳感器,實(shí)現(xiàn)100msec(typical)高速流量控制。使用LINTEC**的非接觸式熱流量傳感器和壓電控制閥,可實(shí)現(xiàn)腐蝕性氣體的超高速流量控制。

流量精度可達(dá)到±1.0%S.P.,數(shù)字通信方式可選擇DeviceNet或EtherCAT。