DeviceNet通訊接口專用質(zhì)量流量控制器。
*新的半導(dǎo)體制造設(shè)備上所搭載的控制器不再采用模擬通訊，而是采用開放式現(xiàn)場網(wǎng)絡(luò)通訊技術(shù)，以達(dá)到高速控制和簡化布線的目的。
特點(diǎn)
- 精度范圍±1%S.P.
- 使用溫度5～50℃
- 金屬密封件
- 無塵生產(chǎn)（粒子標(biāo)準(zhǔn)監(jiān)控）
- 環(huán)境溫度補(bǔ)足式質(zhì)流傳感器
- DeviceNet?通訊
選配規(guī)格
- 小流量F.S.
- 液化氣體
- 大流量范圍
使用范例
配線簡化，節(jié)省成本
越來越多的半導(dǎo)體設(shè)備采用現(xiàn)場網(wǎng)絡(luò)進(jìn)行控制操作。DeviceNet通訊專用MFC （MC-5000L）不需要AD/DA轉(zhuǎn)換器或IO板，具有成本低，配線少的特點(diǎn)。
規(guī)格表
| 溫度 | *小壓差 | *大壓差 | 精度 | 控制范圍 | *小F.S. | *大F.S. | 密封件 |
| 5~50℃ | 50kPa | 300kPa | ±1%S.P. | 2~100%F.S. | 5SCCM | 200SLM | Au |
Lintec 林泰克 DeviceNet質(zhì)量流量控制器 MC-5000L,北崎有售，歡迎咨詢。
