氣體流量控制的*高使用溫度120℃、非通電狀態(tài)下使用溫度可高達(dá)150℃的耐高溫質(zhì)量流量控制器。
通過將高溫氣體接觸部分與不耐熱的基板部分分離，可以實現(xiàn)高溫環(huán)境下的氣體控制。
接氣體加熱模塊采用不銹鋼材料SUS-316L，密封材料采用Au，可對應(yīng)腐蝕性氣體。
在標(biāo)準(zhǔn)配置基礎(chǔ)上，還可選配防止液化氣體再次液化的低壓差規(guī)格，以及接觸氣體部分專用加熱模塊。
【MC-3000L-TC】
特點
- 使用溫度Max120℃
- 金屬密封件
- 無塵生產(chǎn)（粒子標(biāo)準(zhǔn)監(jiān)控）
- RS-485數(shù)字通訊接口
使用范例
液化氣體、升華氣體流量控制
CVD（化學(xué)氣相沉積法）和 ALD （原子層沉積法）中所使用的氣源不**于常溫常壓下的氣體，也可能是常溫常壓下的液體或固體原料。液體和固體在常溫條件下產(chǎn)生的氣體較少，很難利用壓差原理來控制流量。因此，MFC的工作壓力是通過加熱原料罐并增加蒸汽壓力以產(chǎn)生壓差來確保的。MC-3000L-TC能夠進行高溫控制和低壓差工作，是液化和揮發(fā)性氣體流量控制的理想選擇。
規(guī)格表
| 溫度 | *小壓差 | *大壓差 | 精度 | 控制范圍 | *小F.S. | *大F.S. | 密封材 | |
| Low | 80～100℃ |
50kPa |
300kPa | ±1%F.S. | 2~100%F.S. | 10SCCM | 25SLM | Au |
| high | 100~120℃ |
50kPa |
300kPa | ±1%F.S. | 2~100%F.S. | 10SCCM | 25SLM | Au |
Lintec 琳得科 耐高溫質(zhì)量流量控制器 MC-3000L-TC
