*小工作壓差800Pa（6 Torr）的低壓差質(zhì)量流量控制器。
搭載LINTEC**的環(huán)境溫度補(bǔ)足式質(zhì)流傳感器抵壓損構(gòu)造，在±1%F.S.正確范圍內(nèi)減少壓力損失。
搭載**的高性能壓電控制閥,在低壓差環(huán)境下亦可實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定、**的流量控制。
特別之處
- 低差 （800Pa）
- 工作溫度：5~50°C
- 金屬密封膠
- 無塵生產(chǎn)(粒子標(biāo)準(zhǔn)監(jiān)控)
- 環(huán)境溫度補(bǔ)足式傳感器
- RS-485numeric通訊接口
選配規(guī)格
- 微流量 F.S.
使用范例
低蒸氣壓氣體在低溫環(huán)境下的流量控制
MC-3000S系列是采用LINTEC獨(dú)自開發(fā)的抵壓損構(gòu)造的質(zhì)量流量控制器，如果次側(cè)為真空狀態(tài)，即使在常溫條件下也能對H2O等液原料進(jìn)行流量控制。 推薦使用ITO 濺射方法，該方法將少量水蒸氣發(fā)送到vacuum room。 此外，即使是低蒸氣壓的固體原料（如 XeF2），常溫條件下也可以進(jìn)行流量控制。
減壓罐容器（SDS vessel）的流量控制減壓罐容器（SDS容器）的流量控制
離子注入設(shè)備中使用AsH3和PH3等特殊材料氣體，并且通常使用**輸送源Safe Delivery Source（SDS）容器來實(shí)現(xiàn)**穩(wěn)定的輸送。 SDS填充的罐壓低于大氣壓，需使用對應(yīng)低壓差環(huán)境的MFC。 搭載低壓差結(jié)構(gòu)的MC-3000S系列產(chǎn)品，則可以滿足這一需求。
規(guī)格表
| 溫度 | *小壓差 | *大壓差 | 精度 | 控制范圍 | *低 F.S. | 馬克斯 FS | 密封材料 |
| 5~50°C | 800帕 | 133 千帕斯卡 | ±1%F.S. | 2~100%滿量程 | 2SCCM | 30 單片機(jī) | 金 |
