VR功能（流量范圍可變）、RS-485（數(shù)字通訊接口）、金屬密封材為標(biāo)準(zhǔn)配置的MFC。
搭載VR 機(jī)能， 一臺(tái)質(zhì)量流量控制器， 可適用各種不同氣體以及需求流量的變更， 減少庫存， 降低用戶成本。*適合搭載于實(shí)驗(yàn)設(shè)備。
特長(zhǎng)
- VR功能
- 金屬密封材
- RS-485數(shù)字通訊接口
選配規(guī)格
- RS-232數(shù)字通訊接口
使用范例
實(shí)驗(yàn)設(shè)備
在使用實(shí)驗(yàn)設(shè)備和原型時(shí)，會(huì)面對(duì)多種氣體并頻繁改變流量范圍，這種情況下需要多個(gè)質(zhì)量流量控制器。MC-700系列是一款搭載VR功能的質(zhì)量流量控制器，可根據(jù)需要改變氣體類型和流量，一臺(tái)MFC即可支持多種規(guī)格，*經(jīng)濟(jì)適用。此外，密封材為SUS-316L金屬密封，可對(duì)應(yīng)高腐蝕性氣體。
簡(jiǎn)化MFC的備用品種類
搭載VR功能的MC-700可以通過一個(gè)裝置處理包括腐蝕性氣體在內(nèi)的多種氣體類型和流量范圍，且支持多種使用條件。這使從前需要多個(gè)質(zhì)量流量控制器作為備用品的時(shí)代成為歷史。同時(shí)，通過簡(jiǎn)化MFC的備用品數(shù)量，亦可在一定程度上節(jié)約成本。
規(guī)格表
| 溫度 | *小壓差 | *大壓差 | 精度 | 控制范圍 | *小F.S. | *大F.S. | 密封材 |
| 15~35℃ | 50kPa | 300kPa | ±1%F.S. | 2~100%F.S. | 10SCCM | 50SLM | Au |
