精度范圍±1%S.P.的高性能數(shù)字式質(zhì)量流量計(jì)。
與傳統(tǒng)傳感器相比，可以在更低的溫度下以更高的精度測(cè)量質(zhì)量流量，因此壽命更長(zhǎng)。可對(duì)應(yīng)容易被高溫?zé)岱纸獾臍怏w，如O3。
特點(diǎn)
- 精度范圍±1%S.P.
- 使用溫度5～50℃
- 金屬密封件
- 無(wú)塵生產(chǎn)（粒子標(biāo)準(zhǔn)監(jiān)控）
- 環(huán)境溫度補(bǔ)足式質(zhì)流傳感器
- RS-485通訊接口
規(guī)格表
| 溫度 | 壓力規(guī)格 | 精度 | *小F.S. | *大F.S. | 密封件 |
| 5~50℃ | 400kPa(D)以下 | ±1%S.P. | 5SCCM | 250SLM | Au |
