氣體流量測量時（通電時）的*高使用溫度120℃，非通電狀態(tài)下使用溫度可高達(dá)150℃的耐高溫質(zhì)量流量計。
通過將高溫氣體接觸部分與不耐熱的基板部分分離，可在高溫環(huán)境下測量氣體流量。
特點(diǎn)
- 使用溫度Max120℃
- 金屬密封件
- 無塵生產(chǎn)（粒子標(biāo)準(zhǔn)監(jiān)控）
- RS-485通訊接口
選配規(guī)格
- 加熱模塊
規(guī)格表
| 溫度 | 使用圧力 | 精度 | *小F.S. | *大F.S. | 密封件 | |
| low | 80~120℃ | 400kPa(D) | ±1%F.S. | 10SCCM | 25SLM | Au |
| high | 100~120℃ | 400kPa(D) | ±1%F.S. | 10SCCM | 25SLM | Au |
