搭載于高性能質(zhì)量流量控制器的流量控制閥。
搭載壓電致動器的高性能壓電控制閥，可實(shí)現(xiàn)對壓力或氣體流量的高速控制。控制閥開度外部設(shè)定范圍0～5V。
接氣體加熱模塊采用不銹鋼材料SUS-316L，密封材料采用Au，可對應(yīng)腐蝕性氣體。
特點(diǎn)
- 使用溫度0～50℃
- 金屬密封件
選配規(guī)格
- 低壓差
- 液化氣體
使用范例
壓力控制閥
在許多實(shí)驗(yàn)和制造過程中需要恒定的腔室壓力。 通過組合壓力計(jì)、PID控制器和CV-3000壓電控制閥，可以控制壓力以保持恒定。
規(guī)格表
| 溫度 | *小差圧 | *大差圧 | *大流量 | 密封件 | 應(yīng)答時間 |
| 0~50℃ | 50kPa | 300kPa | 10SLM | Au | 0.5sec以下 |
