TSI美國高流量 Turbo II 蒸發(fā)器 2852PE

TSI美國高流量 Turbo II 蒸發(fā)器 2852PE

MSP 的 Turbo II? 氣化器 2852PE 專為需要中低蒸汽流速的高精度微電子應(yīng)用而設(shè)計(jì)。新型 2852PE 基于經(jīng)過現(xiàn)場驗(yàn)證、高度可靠且維護(hù)成本低的 MSP 渦輪蒸發(fā)?器，可提供穩(wěn)定的蒸汽濃度，同時(shí)保持非常小的占地面積。2852PE 還具有一個(gè)板載流量控制閥，可實(shí)現(xiàn)極快的流量響應(yīng)。

尺寸 （高 x 寬 x 深）	198 毫米 x 84 毫米 x 114 毫米（7.8 英寸 x 3.3 英寸 x 4.5 英寸）
重量	2.5 千克（5.6 磅）
配件（在設(shè)備上）	載氣入口	1/4 英寸VCR 內(nèi)螺紋開口螺母
	液體入口	1/8 英寸錄像機(jī)母頭
	蒸汽出口	1/4 英寸VCR 內(nèi)螺紋開口螺母
	壓縮空氣	4 mm 即時(shí)卡套管接頭
接液部件	SS 316、PEEK、PTFE、Elgiloy®、FFKM
泄漏完整性	≤ 1x 10-8帕米3/s 氦
加熱器功率要求1	208 伏交流、60 Hz、450 W
載氣	建議使用惰性氣體
*大載氣流量1	2.0 標(biāo)準(zhǔn)升/分鐘 N2@ 50 磅/平方英寸
*大液體流量2	7 克/分鐘（TEOS 或同等產(chǎn)品）
系統(tǒng)壓力限制	150 磅/平方英寸
壓縮空氣	90 至 110 psig
溫度范圍3	40°C 至 180°C
溫度傳感器	2 型 ? 熱電偶
輔料	隨附電源線

規(guī)格如有更改，恕不另行通知。

1*大載流、加熱器功率 （W） 和線路電壓可在工廠調(diào)整，請?jiān)L問 www.tsi.com/contact 獲取更多信息。
2*大液體流量取決于工藝。該規(guī)格假設(shè)汽化器溫度為 180°C，*大載氣流量和氣化器下游壓力為 <50 Torr。
3需要適當(dāng)?shù)耐L(fēng)。