簡 介
MC-7000 系列為高速應(yīng)答質(zhì)量流量控制器，應(yīng)答時間可小于 200 毫秒特點(diǎn)
吏用熱式傳感器，應(yīng)答時間可小于 200 毫秒搭配 LINTEC **的環(huán)境溫度補(bǔ)償式質(zhì)流傳感器，可対應(yīng)腐蝕性或液化氣體海保精度于±1%S.P.(設(shè)定值)范圍內(nèi)吏用耐久性高、密閉性高的金屬密封件及高速度，高性能的壓電控制閥重訊方式可選用 DeviceNet (ODVA) 或是 EtherCAT®

高速應(yīng)答質(zhì)量流量控制器MC-7000
應(yīng)答時間200msec的超高速質(zhì)量流量控制器（MFC）。
通過使用熱傳感器，實(shí)現(xiàn)100msec(typical)高速流量控制。使用LINTEC**的非接觸式熱流量傳感器和壓電控制閥，可實(shí)現(xiàn)腐蝕性氣體的超高速流量控制。
流量精度可達(dá)到±1.0％S.P.，數(shù)字通信方式可選擇DeviceNet或EtherCAT。
產(chǎn)品特點(diǎn)
超高速流量控制200msec
精度±1%S.P.
使用溫度5～50℃
金屬密封材
無塵（粒子標(biāo)準(zhǔn)監(jiān)控）
周圍溫度補(bǔ)償傳感器
支持EtherCAT通訊方式
支持DeviceNet?通訊方式

超高速流量制御

使用范例

快速刻蝕工藝

在半導(dǎo)體制造工藝中，在微細(xì)化的同時還需要提高產(chǎn)量。對于控制反應(yīng)氣體流量的質(zhì)量流量控制器來說，縮短流量控制開始(啟動)時間的需求日益增加。超高速質(zhì)量流量控制器【MC-7000】因?yàn)槭褂昧朔墙佑|式熱式流量傳感器，流量傳感器與流量測量氣體不接觸，可實(shí)現(xiàn)200msec的超高速響應(yīng)。同時，因?yàn)榉墙佑|式的特點(diǎn)，該流量控制器可用于測量腐蝕性氣體。

產(chǎn)品規(guī)格表