搭載壓電控制閥，對(duì)應(yīng)微小流量汽化需求的小型液體汽化器。
汽化室附近搭載能夠進(jìn)行高速、高精度微小流量控制的壓電致動(dòng)器。該結(jié)構(gòu)的死體積較小。
*大支持TEOS 7g/min，H2O g/min汽化量的緊湊型汽化器。通過將載氣（*大流量14SLM）和液體混合并引入汽化室，可以實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定的汽化供給。
VU-206
特點(diǎn)
- 微小流量汽化
- 維護(hù)成本低
- 汽化室附近搭載液體流量控制閥
使用范例
真空、大氣條件下的小流量汽化
該汽化器采用緊湊型設(shè)計(jì)，結(jié)構(gòu)小巧，即使在連續(xù)的微小流量下也能實(shí)現(xiàn)**的流量汽化供給，且不受輸出端的壓力影響。
TEOS,TEB,TEPO的汽化供給
除了半導(dǎo)體制造工藝中經(jīng)常使用的TEOS外，還可以對(duì)TEB和TEPO等各種液體進(jìn)行汽化供給。此外，還可以通過串聯(lián)汽化器同時(shí)汽化供應(yīng)多種液體。
規(guī)格表
| *高溫度 | 載氣流量 | *大H2O汽化流量 | *大TEOS汽化流量 | 密封材 |
| 160℃ | 0.1~14SLM | 0.5g/min | 7g/min | Au |
