0.1 μm 以上特殊供氣系統(tǒng)的清潔度控制

• 直接測量惰性氣體、腐蝕性氣體、反應氣體等。

• 使用 SUS 管道 （VCR)

• 規(guī)范

  光學系統(tǒng)方式	橫向散射法
  光源	二極管激光器（波長 830 nm，額定功率 200 mW）
  粒度分類	0.1 μm 或更高、0.15 μm 或更高、0.2 μm 或更高、0.3 μm 或更高、0.5 μm 或更高的 5 個級別
  額定流量	100 毫升/分鐘
  *大顆粒計數(shù)濃度	30,000 個/mL（計數(shù)丟失在 5% 以內）
  權力	AC100 V~240 V，40 VA（包括外部電源 KZ-50（隨附））
  大小	約 135 毫米（水平）× 280 毫米（寬）× 150 毫米（深）毫米（不包括突出部分）
  重量	約 6.5 kg

  
  
• RION理音 空氣粒子控制器 KS-93
• RION理音 空氣粒子控制器 KS-93
  
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