*大可對應(yīng)N2、300SLM的大流量熱交換器。

特點(diǎn)
- *大流量300SLM
- *高使用溫度250℃
使用范例
半導(dǎo)體制造工藝中的干燥機(jī)
HX-0300C系列熱交換器能夠加熱*大300SLM的流量。使用大流量的加熱氣體進(jìn)行干燥可提高產(chǎn)量。此外,由于加熱器部分不接觸氣體,因此非常適合用于需要清潔環(huán)境的半導(dǎo)體制造和FPD(平板顯示器)制造工藝。
規(guī)格表
流量(N2換算) | 壓力損失(N2) | 耐壓(G) | 使用溫度 | 接觸氣體部分材質(zhì) | |
規(guī)格 | 300SLM | 30kPa | 1MPa | 250℃ | SUS316L不銹鋼 |
※小型氣體加熱器、小型熱交換器的產(chǎn)品詳情請直接致電或郵件咨詢LINTEC。