原裝EBARA荏原EV-X300N干式真空泵 

原裝EBARA荏原EV-X300N干式真空泵 

（1） 廣泛的工藝覆蓋范圍
大流量主泵和我們獨(dú)特的副產(chǎn)品對策支持廣泛的工藝，從離子注入等低氣體流量工藝到外延生長等大氣體流量工藝，以及產(chǎn)生大量副產(chǎn)品（如 TiN 沉積）的工藝。 還可以減少備用機(jī)器的庫存并在未來擴(kuò)展流程。

（2） 由于新開發(fā)的模塊化設(shè)計(jì)，小型化和更短的交貨時(shí)間 采用針對
自動(dòng)化工廠制造的模塊化設(shè)計(jì)進(jìn)行了優(yōu)化，以縮短交貨時(shí)間并進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)小型化。 隨著設(shè)備和腔室數(shù)量的增加，可以高效靈活地布置承受壓力的 sub-fab 空間。

（3） 降低
TCoO 我們獨(dú)特的轉(zhuǎn)子設(shè)計(jì)和節(jié)能技術(shù)使功耗比我們目前的型號(hào)降低了 25~50%。
它有助于減少 CO2 排放。 此外，每個(gè)過程的*佳溫度控制提高了
工藝阻力。 延長零件的更換周期有助于減少 TCoO。