EBARA荏原節(jié)能干式真空泵EV-S20

EBARA荏原節(jié)能干式真空泵EV-S20

荏原 （EBARA） 獨特的高溫技術(shù)支持高負荷工藝，在半導(dǎo)體、液晶和太陽能電池的制造過程中會產(chǎn)生反應(yīng)副產(chǎn)物。 由于其高節(jié)能性能，可以處理高負載過程并同時節(jié)省能源。 標配耐腐蝕材料，還提供排量為 110,000 L/min 的大排量型號。 憑借根據(jù)工藝條件的豐富產(chǎn)品陣容，可以處理各種高負荷工藝。

型		單位	EV-M20N 系列	EV-M102N 系列	EV-M202N 系列	EV-M302N 系列	EV-M502N 系列	EV-M505SF 系列	電動車 EV-M802N	電動叉車 EV-M805SF	EV-M1205SF
抽速		升/分鐘	1,800	10,000	20,000	30,000	50,000	50,000	80,000	80,000	110,000
極限壓力		帕	5	0.5	0.5	0.5	0.5	0.5	0.5	0.5	0.5
連接直徑	進氣口		西北 40	ISO100 認證	ISO100 認證	ISO100 認證	ISO160 認證	ISO160 認證	ISO200 認證	ISO200 認證	ISO200 認證
	排氣口		西北 40	西北 40	西北 40	西北 40	西北 40	西北 40	西北 40	西北 40	西北 40
極限壓力下的近似功率		千瓦	1.2	1.8	1.9	2.3	2.1	3.9	2.8	4.6	5.3
冷卻水	流量	升/分鐘	3~8	3~8	3.5~8	4~8	5~8	5~8	5~8	5~8	5~8
	溫度	°C	*多 30 個	*多 30 個	*多 30 個	*多 30 個	*多 30 個	*多 30 個	*多 30 個	*多 30 個	*多 30 個
注 2	流量	帕?m3/秒	26~31	26~31	26~31	26~31	28~33	228	28~33	228	34~35
電源相位/電壓/頻率	200V 型號		三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz	三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz	三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz	三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz	三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz	三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz	三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz	三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz	三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz
	400V 型號		三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz	三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz	三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz	三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz	三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz	-	三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz	三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz	三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz
電源容量		千伏安	3.3	5.4	6	6.8	7.1	15.7	8.3	19.4	14.2
近似質(zhì)量		公斤	170	320	360	400	500	580	740	820	870