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產(chǎn)品詳情

  • 產(chǎn)品名稱：EBARA荏原 干式真空泵

  • 產(chǎn)品型號：EV-M502N
  • 產(chǎn)品廠商：EBARA荏原
  • 產(chǎn)品文檔：
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簡單介紹：
EBARA荏原 干式真空泵 EV-M502N，北崎有售，歡迎咨詢。
詳情介紹：

EBARA荏原 干式真空泵 EV-M502N

EBARA荏原 干式真空泵 EV-M502N


產(chǎn)品介紹


以荏原**高溫技術(shù)，在半導(dǎo)體、液晶和太陽能電池制造工藝中，滿足發(fā)生反應(yīng)副產(chǎn)物的高負荷工藝要求。通過高度的節(jié)能性能，同時滿足高負荷工藝要求和節(jié)能要求。標配耐腐蝕性材料，提供110,000L/min的大排氣量機型。通過滿足工藝條件要求的豐富產(chǎn)品陣容，能夠滿足大范圍的高負荷工藝要求。


規(guī)格

設(shè)備名稱 單位 EV-M20N EV-M102N EV-M202N EV-M302N EV-M502N EV-M505SF EV-M802N EV-M805SF EV-M1205SF
排氣速度 L/min 1,800 10,000 20,000 30,000 50,000 50,000 80,000 80,000 110,000
極限壓力 Pa 5.0 0.5 0.5 0.5 0.5 0.5 0.5 0.5 0.5
連接口徑 吸氣口 NW40 ISO100 ISO100 ISO100 ISO160 ISO160 ISO200 ISO200 ISO200
排氣口 NW40 NW40 NW40 NW40 NW40 NW40 NW40 NW40 NW40
極限壓力時功率概值 kW 1.2 1.8 1.9 2.3 2.1 3.9 2.8 4.6 5.3
冷卻水 流量 L/min 3~8 3~8 3.5~8 4~8 5~8 5~8 5~8 5~8 5~8
溫度 ℃ Max. 30 Max. 30 Max. 30 Max. 30 Max. 30 Max. 30 Max. 30 Max. 30 Max. 30
N2 流量 Pa?m3/s 26~31 26~31 26~31 26~31 28~33 228 28~33 228 34~35
電源　相／電壓／頻率 200V機型 三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz 		三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz 		三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz 		三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz 		三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz 		三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz 		三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz 		三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz 		三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz
400V機型 三相/380-400V/50Hz
三相/380-440V/60Hz 		三相/380-400V/50Hz
三相/380-440V/60Hz 		三相/380-400V/50Hz
三相/380-440V/60Hz 		三相/380-400V/50Hz
三相/380-440V/60Hz 		三相/380-400V/50Hz
三相/380-440V/60Hz 		- 三相/380-400V/50Hz
三相/380-440V/60Hz 		三相/380-400V/50Hz
三相/380-440V/60Hz 		三相/380-400V/50Hz
三相/380-440V/60Hz
電源容量 kVA 3.3 5.4 6.0 6.8 7.1 15.7 8.3 19.4 14.2
質(zhì)量概值 kg 170 320 360 400 500 580 740 820 870




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