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產(chǎn)品詳情

  • 產(chǎn)品名稱：EBARA荏原 干式真空泵

  • 產(chǎn)品型號(hào)：EV-X200N
  • 產(chǎn)品廠商：EBARA荏原
  • 產(chǎn)品文檔：
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簡(jiǎn)單介紹：
EBARA荏原 干式真空泵 EV-X200N，北崎有售，歡迎咨詢。
詳情介紹：

EBARA荏原 干式真空泵 EV-X200N

EBARA荏原 干式真空泵 EV-X200N



產(chǎn)品介紹

作為中等負(fù)荷工藝專用的干式真空泵，搭載荏原特有的節(jié)能技術(shù)，采用面向自動(dòng)化工廠制造的優(yōu)化模塊設(shè)計(jì)，并進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)了小型化和節(jié)能化。
通過(guò)大范圍的溫度控制，擴(kuò)大了適用工藝范圍。因同一機(jī)型能夠覆蓋多種工藝，能夠優(yōu)化備用設(shè)備的庫(kù)存，減少用于維護(hù)和培訓(xùn)的人力時(shí)間，并且能夠靈活應(yīng)對(duì)未來(lái)的工藝擴(kuò)展。此外，在所有工藝中實(shí)施*佳的溫度控制，從而實(shí)現(xiàn)工藝耐受性的提高，并且通過(guò)延長(zhǎng)部件的更換周期，幫助減少TCoO。
應(yīng)對(duì)的應(yīng)用例：各種蝕刻和CVD、灰化、離子植入、外延生長(zhǎng)等。



EV-X型

小型節(jié)能，僅需一臺(tái)設(shè)備即可覆蓋廣泛的工藝流程

支持中等負(fù)荷工藝
支持高溫化控制
節(jié)能
采用標(biāo)配耐腐蝕性材料
增強(qiáng)耐腐蝕性的選配件
不同頻率（50Hz/60Hz）下保持穩(wěn)定性能
無(wú)油
可支持CE標(biāo)志/SEMI-S2/NRTL
省空間化




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