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產(chǎn)品詳情

  • 產(chǎn)品名稱：EBARA荏原 干式真空泵

  • 產(chǎn)品型號：EV-S100P
  • 產(chǎn)品廠商：EBARA荏原
  • 產(chǎn)品文檔：
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簡單介紹：
EBARA荏原 干式真空泵 EV-S100P，北崎有售，歡迎咨詢。
詳情介紹：

EBARA荏原 干式真空泵 EV-S100P

EBARA荏原 干式真空泵 EV-S100P


產(chǎn)品介紹

通過**轉(zhuǎn)子設(shè)計與怠速功能，節(jié)能和小型化達到世界**水平。有助于降低運行成本。此外，還可選擇耐腐蝕性材料，從預(yù)真空鎖、SEM等輕負荷用途到腐蝕性工藝，能夠廣泛滿足各種不同應(yīng)用需求。

規(guī)格

設(shè)備名稱 單位 EV-S20 EV-S20P/N EV-S30 EV-S30P EV-S50 EV-S50P/N EV-S100 EV-S100P/N EV-S200 EV-S200P/N
排氣速度 L/min 1,670 1,670 3,300 3,300 5,000 5,000 10,000 10,000 20,000 20,000
極限壓力 Pa 3.0 5.0 0.5 1.0 0.5 0.5 0.5 0.5 0.5 0.5
連接口徑 吸氣口 NW50 NW50 NW50 NW50 NW50 NW50 NW80 NW80 NW100 NW100
排氣口 NW25 NW25 NW25 NW25 NW25 NW25 NW25 NW25 NW40 NW40
極限壓力時功率概值 kW 0.4 0.4 0.4 0.4 0.55 0.55 0.65 0.65 0.75 0.75
冷卻水 流量 L/min 1.5~3.0 1.5~3.0 1.5~3.0 1.5~3.0 2.0~3.0 2.0~3.0 2.0~3.0 2.0~3.0 2.0~3.0 2.0~3.0
溫度 ℃ Max. 30 Max. 30 Max. 30 Max. 30 Max. 30 Max. 30 Max. 30 Max. 30 Max. 30 Max. 30
N2 流量 Pa?m3/s - 17～20 (2.4) - 17～20 (2.4) 17～20 (2.4) 17～20 (2.4) 17～20 (2.4)
電源　相／電壓／頻率 200V機型 三相/200-220V,50/60Hz 三相/200-220V,50/60Hz 三相/200-220V,50/60Hz 三相/200-220V,50/60Hz 三相/200-220V,50/60Hz 三相/200-220V,50/60Hz 三相/200-220V,50/60Hz 三相/200-220V,50/60Hz 三相/200-220V,50/60Hz 三相/200-220V,50/60Hz
400V機型 三相/380-440V,50/60Hz 三相/380-440V,50/60Hz - - 三相/380-440V,50/60Hz 三相/380-440V,50/60Hz 三相/380-440V,50/60Hz 三相/380-440V,50/60Hz 三相/380-440V,50/60Hz 三相/380-440V,50/60Hz
電源容量 kVA 3.2 3.2 3.6 3.6 4.8 4.8 6.4 6.4 6.8 6.8
質(zhì)量概值 kg 60 60 90 90 100 100

EV-S型

節(jié)能、省空間的干式真空泵

節(jié)能
小型、輕量
耐腐蝕性材料選配件
可選擇氮氣吹掃機型
在不同頻率（50/60Hz）下性能一致
無油
可滿足CE標示/SEMI-S2/NRTL要求



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