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產品詳情

  • 產品名稱：EBARA荏原 干式真空泵

  • 產品型號：EST500WN
  • 產品廠商：EBARA荏原
  • 產品文檔：
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簡單介紹：
EBARA荏原 干式真空泵 EST500WN，北崎有售，歡迎咨詢。
詳情介紹：

EBARA荏原 干式真空泵 EST500WN

EBARA荏原 干式真空泵 EST500WN


產品介紹


EST型采用螺旋型轉子，搭載能夠使泵內氣體保持高溫的高溫化功能，是形成反應副產物的CVD等用途的*佳選擇。標配耐腐蝕性材料，實現(xiàn)高排氣速度和大流量排氣，有助于減少停機時間，提高工藝效率。



規(guī)格

設備名稱 單位 EST10N EST25N EST100WN EST200WN EST300WN EST500WN EST800WN
排氣速度 L/min 1,000 2,500 10,000 20,000 30,000 50,000 80,000
極限壓力 Pa 2.7 0.4 0.4 0.4 0.4 0.4 0.5
連接口徑 吸氣口 NW40 NW40 NW50 NW100 NW100 ISO160 ISO200
排氣口 NW40 NW40 NW40 NW40 NW40 NW40 NW40
到達圧力時電力概略時 kW 2.3 3.0 3.2 3.2 4.5 4.6 4.6
冷卻水 流量 L/min 5~8 5~8 5~8 5~8 5~8 5~8 5~8
溫度 ℃ Max. 30 Max. 30 Max. 30 Max. 30 Max. 30 Max. 30 Max. 30
N2 流量 Pa?m3/s 13~18 13~18 24~29 24~29 28~31 28~31 28~31
電源　相／電壓／頻率 200V機型 三相/200-220V,50/60Hz 三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz 		三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz 		三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz 		三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz 		三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz 		三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz
400V機型 三相/380-440V,50/60Hz 三相/380-400V/50Hz
三相/380-440V/60Hz 		三相/380-400V/50Hz
三相/380-440V/60Hz 		三相/380-400V/50Hz
三相/380-440V/60Hz 		三相/380-400V/50Hz
三相/380-440V/60Hz 		三相/380-400V/50Hz
三相/380-440V/60Hz 		-
電源容量 kVA 4.6 7.3 8.2 8.5 12.7 15.1 16.0
質量概值 kg 260 300 380 430 500 550 840


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