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產(chǎn)品詳情

  • 產(chǎn)品名稱(chēng)：EBARA荏原 廢氣處理設(shè)備

  • 產(chǎn)品型號(hào)：G6-E-A2
  • 產(chǎn)品廠商：EBARA荏原
  • 產(chǎn)品文檔：
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簡(jiǎn)單介紹：
EBARA荏原 廢氣處理設(shè)備 G6-E-A2，北崎有售，歡迎咨詢(xún)。
詳情介紹：

EBARA荏原 廢氣處理設(shè)備 G6-E-A2

EBARA荏原 廢氣處理設(shè)備 G6-E-A2


產(chǎn)品介紹



G6-E型屬于燃燒式廢氣處理裝置，適合用于半導(dǎo)體制造工序中的外延生長(zhǎng)裝置等處所用含有大流量氫氣和氯氣的廢氣處理用途。采用緊湊式設(shè)計(jì)，*大可進(jìn)行200L/min氫氣處理，還能滿足同時(shí)進(jìn)行氫氣和氯氣處理的要求。標(biāo)配副產(chǎn)物去除功能，能夠降低維護(hù)成本和負(fù)荷。




規(guī)格

設(shè)備名稱(chēng) 單位 G6-E A1~A4 G6-E P1~P4
處理方式 燃燒式 + 濕式 燃燒式 + 濕式
*大允許流入氣體量 L/min 400 400
燃料 城市燃?xì)? 丙烷氣體
尺寸 W x D x H mm 1,200×650×1,900mm 1,200×650×1,900mm
H?*大可處理流量 L/min 200 200
可處**體例 工藝（沉積）氣體
H2、PH3、Si3H8、SiH4、PH3、GeH4、AsH3、NH3、SiH2Cl2、B2H6等
所有潔凈氣體
NF3、ClF3、HF、F2、HCl、COF2等
所有蝕刻氣體
HBr、Cl2、SiCl4、BCl3、CO、C5F8、C4F6等 		工藝（沉積）氣體
H2、PH3、Si3H8、SiH4、PH3、GeH4、AsH3、NH3、SiH2Cl2、B2H6等
所有潔凈氣體
NF3、ClF3、HF、F2、HCl、COF2等
所有蝕刻氣體
HBr、Cl2、SiCl4、BCl3、CO、C5F8、C4F6等
標(biāo)準(zhǔn)裝備品 大流量H2處理燃燒器 大流量H2處理燃燒器
粉體去除用燃燒器刮板 粉體去除用燃燒器刮板
選項(xiàng) 自來(lái)水、污水使用量削減單元 自來(lái)水、污水使用量削減單元
粉體排放削減用風(fēng)機(jī)洗滌器 粉體排放削減用風(fēng)機(jī)洗滌器



G6-E型

可同時(shí)處理大流量氫氣和氯氣的燃燒式廢氣處理裝置

燃燒式廢氣處理裝置
滿足大流量氯氣、氫氣處理要求
批量處理多種氣體
高效處理PFCs氣體
副產(chǎn)物處理措施和粉塵自動(dòng)排放功能
運(yùn)行成本低
可調(diào)式運(yùn)行
提高維護(hù)性能





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