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產(chǎn)品詳情

  • 產(chǎn)品名稱：EBARA荏原 CMP設(shè)備

  • 產(chǎn)品型號(hào)：F-REX300XA
  • 產(chǎn)品廠商：EBARA荏原
  • 產(chǎn)品文檔：
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簡(jiǎn)單介紹：
EBARA荏原 CMP設(shè)備 F-REX300XA，北崎有售，歡迎咨詢。
詳情介紹：

EBARA荏原 CMP設(shè)備 F-REX300XA

EBARA荏原 CMP設(shè)備 F-REX300XA


產(chǎn)品介紹


搭載了新開(kāi)發(fā)的高效搬運(yùn)結(jié)構(gòu)和WPH優(yōu)化算法。保持采用單桌單頭、雙模塊方式等荏原的高可靠性結(jié)構(gòu)，進(jìn)一步了提高生產(chǎn)效率。采用靈活的搬運(yùn)結(jié)構(gòu)并進(jìn)一步實(shí)施防止交叉污染的措施，幫助提高成品率。此外，還采用了便于進(jìn)行改造和升級(jí)的模塊結(jié)構(gòu)，在未來(lái)擴(kuò)展功能時(shí)，也能夠迅速導(dǎo)入新功能。此外，與F-REX300X型相比耗電量減少了約10%，并通過(guò)減少部件數(shù)量，削減了供應(yīng)鏈中的CO2排放。支持更環(huán)保的半導(dǎo)體制造。


F-REX型

通過(guò)高運(yùn)轉(zhuǎn)率和高處理量，實(shí)現(xiàn)高效生產(chǎn)

干進(jìn)干出
工藝性能出色
高處理量
高運(yùn)轉(zhuǎn)率
滿足多級(jí)藥液清洗要求
研磨加工終點(diǎn)檢測(cè)監(jiān)控儀（選配）
在線膜厚檢測(cè)儀（選配）
多樣化功能與靈活的裝置結(jié)構(gòu)組成
滿足SEMI-2/CE要求




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