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簡單介紹：
EBARA荏原 邊緣研磨設(shè)備 EAC300bi-hv，北崎有售，歡迎咨詢。
詳情介紹：
EBARA荏原 邊緣研磨設(shè)備 EAC300bi-hv
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產(chǎn)品介紹
EAC型是通過對半導(dǎo)體晶圓端面的斜面部分以及晶圓表面和背面的邊緣部分進行研磨，去除缺陷和不必要薄膜的裝置。使用固定磨粒，可不拘研磨對象性質(zhì)進行物理研磨。通過配方可控式研磨頭，能夠?qū)崿F(xiàn)晶圓端面形狀的高精度控制。
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