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產(chǎn)品詳情

  • 產(chǎn)品名稱：ULVAC愛發(fā)科多級羅茨型干泵HR

  • 產(chǎn)品型號：HR1200
  • 產(chǎn)品廠商：ULVAC愛發(fā)科
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簡單介紹：
ULVAC愛發(fā)科多級羅茨型干泵HR1200，北崎有售
詳情介紹：


ULVAC愛發(fā)科多級羅茨型干泵HR1200

ULVAC愛發(fā)科多級羅茨型干泵HR1200


通過高溫領(lǐng)域的泵體均熱化，實現(xiàn)將CVD、蝕刻等工藝中產(chǎn)生的升化性排氣物質(zhì)以氣體狀態(tài)排出的一款泵。

特點

  • 高溫區(qū)域均熱化
    實現(xiàn)將CVD、蝕刻等工藝中產(chǎn)生的升化性排氣物質(zhì)以氣體狀態(tài)排出。
    “Model:UR”可比“Model:HR”更加高溫化。
  • 氦氣密封
    通過搭載屏蔽電動機形成密閉結(jié)構(gòu)，非常**。
  • 瞬停對策
    采取了1000msec以內(nèi)瞬停對策。
  • 出色的耐腐蝕性
    主要零部件均采用表面硬度高、高耐腐蝕性的特殊表面處理。降低腐蝕性氣體排氣時對泵內(nèi)部的腐蝕。
  • 通信功能
    可讀取與泵運轉(zhuǎn)狀態(tài)相關(guān)的數(shù)據(jù)、警告/報警履歷。如果使用專用軟件進行計算機通信，則可實現(xiàn)集中監(jiān)控。

用途

  • CVD裝置
  • 蝕刻裝置
  • 灰化裝置
  • ALD、ALH 等

規(guī)格

型號 HR60 HR90 HR300 HR600 HR1200
使用泵 干式真空泵 HR60 HR90 HR60 HR90 HR90
機械增壓泵 - - PRC-003A PRC-006A PRC-012A
*大
排氣速度 		50Hz m3/h
(L/min) 		62(1030) 112(1860) 359(5,980) 653(10,900) 1,012(16,900)
60Hz m3/h
(L/min) 		80(1333) 126(2100) 365(6,080) 701(11,700) 1,051(17,500)
到達壓力 Pa 5 0.67
*大排氣壓力
（吸入圧力） 		大氣壓 *1
*大排氣壓力
（吸入圧力） 		Pa 1~ 大氣壓
吸氣口 (CE規(guī)格) VG50(KF50) VG80(KF50) VG80(KF80) VG100(KF100)
排氣口 KF40
質(zhì)量 kg 180 245 275 370 420
電源 三相 VAC
(Hz) 		200(50/60), 220(60)
電流值 穩(wěn)定時 A 7.1
(at 200V) 		11.2
(at 200V) 		7.8
(at 200V) 		12.9
(at 200V) 		15.4
(at 200V)
*大值 A 7.3
(at 200V) 		11.8
(at 200V) 		8.1
(at 200V) 		13.8
(at 200V) 		18.9
(at 200V)
冷卻水一次圧力 MPa 0.1~0.3
冷卻水出入口壓差 MPa >0.1
冷卻水流量 L/min >5.0
吹掃氣 一次壓力 MPa 0.1~0.5
二次壓力 MPa 0.05~0.1
N2吹掃 軸 SLM 5
氣鎮(zhèn) SLM 0~45

*1 HR300、HR600、HR1200請勿在200Pa以上的吸入壓力下連續(xù)運轉(zhuǎn)。

尺寸圖

  • HR60HR60_en_size.png
  • HR90HR90_en_size.png
  • HR180HR180_en_size.jpg
  • HR300HR300_en_size.jpg
  • HR600HR600_en_size.jpg
  • HR1200HR1200_en_size.jpg


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